Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung — plazminis plokštelių grupinio apdorojimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma processing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung, m rus. плазменный реактор для групповой обработки… … Radioelektronikos terminų žodynas
multiwafer plasma processing reactor — plazminis plokštelių grupinio apdorojimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma processing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung, m rus. плазменный реактор для групповой обработки… … Radioelektronikos terminų žodynas
plazminis plokštelių grupinio apdorojimo reaktorius — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma processing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung, m rus. плазменный реактор для групповой обработки пластин, m pranc. réacteur de plasma pour traitement… … Radioelektronikos terminų žodynas
réacteur de plasma pour traitement des tranches en groupe — plazminis plokštelių grupinio apdorojimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma processing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung, m rus. плазменный реактор для групповой обработки… … Radioelektronikos terminų žodynas
